Технические характеристики
- Переднее/боковое/ обратное многогранное обнаружение дефектов поверхности пластины, обеспечивающее эффективный контроль качества;
- С функцией MAP (Карта) (опции);
- Одновременно имеет функции обнаружения и сортировки;
- Может независимо устанавливать различные типы дефектов,
- Поддерживает различные протоколы связи SECS/Gem и т.д.；
Технические параметры
|
Основные приложения |
Макроинспекция передней и задней части пластины |
|
Размер пластины |
300 мм |
|
Конечный эффектор |
Вакуумная адсорбция |
|
Режимы проверки |
Макроинспекция, двустороннее переворачивание, поворот на 360 °, многоугловая инспекция |
|
Тип кассеты |
Открытая кассета или FOUP / FOSB |
|
Загрузочный порт |
2 пк, могут быть подключены к E84 |
|
Выход |
> 80 Вт / ч |
|
Функция калибровки |
Опционально |
|
Функция считывания кода (OCR) |
Опционально |
|
Чистота |
Класс 1 |
|
Потребляемая мощность |
Переменный ток 220 В, 50/60 Гц, 25А, однофазный (воздушная трубка диаметром￠8 мм) |
|
Сжатый воздух |
0,4 ~ 0,6 Мпа; 90Л /мин (воздушная трубка￠8 мм) |
|
Вакуум |
-80 ~-70 кПа (мин); 25Л / мин (воздушная трубка￠8 мм) |
|
Вес/утяжелитель |
~700 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
WVI300H |
По запросу |
JoomShopping Download & Support