Технические характеристики
Система измерения профиля кромки/надреза WEP-200E
Оборудование для измерения профиля кромки /надреза WEP-200E - это оборудование для измерения профиля кромки/надреза полупроводниковых пластин после шлифования кромок. Бесконтактным методом измерения оборудование может измерять форму кромки, форму надреза, ориентацию плоской длины, диаметр пластины, ширину кромки, сколы на кромке и т.д. Результаты измерений могут автоматически сохраняться и данные могут экспортироваться. Оборудование подходит для изготовления пластин толщиной 2/3/4/5/6/8/12 дюйма.
Метод измерения и средства измерения
Пример измерения формы R кромки пластины:
Ширина фаски пластины X1, X2 точность измерения отклонение точности: ± 10 мкм
Точность измерения угла R отклонение точности: ± 10 мкм
Длина фаски пластины X1, X2 точность измерения отклонение точности: ± 10 мкм
Угол A1, A2 точность измерения отклонение точности: ± 0,5 °
Глубина зазубрины Vh и ширина зазубрины Vw точность измерения зазубрины отклонение точности: ± 1 мкм
Технические параметры
|
Модель |
WEP-200E |
|
Размер пластины |
2/3/4/5/6/8/12 дюйма |
|
Материалы пластин |
Si, Ge, GaAs, InP, SiC, GaN, LN / LT sapphire и т.д. |
|
Считывание и экспорт данных |
ОК |
|
Функция измерения формы кромки пластины |
ОК |
|
Функция измерения формы зазубрины |
ОК |
|
Функция измерения формы R, двойная функция измерения формы R. |
ОК |
|
Ширина, глубина зазубрины |
±1 мкм |
|
Повторяемость измерения угла |
±1° |
|
Диаметр пластины |
±1 мкм |
|
Толщина пластины |
До 1600 мкм |
|
Точность измерения ширины фаски |
±10 мкм |
|
Точность измерения толщины |
±5 мкм |
|
R точность, R повторяемость |
±5 мкм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
WEP-200E |
По запросу |
JoomShopping Download & Support