SurfaceSens

Технология SurfaceSens разработана для получения точной информации об измеряемом образце и более глубокого понимания качества продукции. Все метрологические инструменты FRT MicroProf® могут быть сконфигурированы с использованием дополнительных сенсорных технологий. В процессе гибридного анализа точно измеряются данные о поверхности пластин или других образцов, недоступные в других случаях.

Технические характеристики

SurfaceSens предлагает возможность объединить уникальные принципы измерения в области метрологии и контроля в одном приборе и, таким образом, обеспечивает максимальную гибкость. Использование различных оптических датчиков, таких как точечные, линейные датчики и датчики поля зрения, даже для измерения верхней и нижней частей образца, позволяет получать универсальные результаты по нескольким параметрам поверхности, таким как рельеф, шероховатость, изгиб и деформация TTV, плоскостность, копланарность, толщина образца и слоя и многим другим.

Модернизация датчиков открывает дополнительные возможности для гибкой адаптации к будущим измерительным задачам, таким как индивидуальные и сменные держатели для образцов. С помощью FRT MicroProf plus SurfaceSens вы можете быстро, эффективно и надежно решать измерительные задачи.

Точечный датчик

CWL - это быстродействующий оптический точечный датчик, который работает по принципу хроматического измерения расстояния. Неразрушающий метод CWL одинаково надежно работает как на поверхностях с высокой, так и с низкой отражающей способностью. Для применений, где требуется высокая скорость измерения, SLS, как быстродействующий оптический линейный датчик, предлагает оптимальное решение. Как и CWL, он работает по принципу измерения хроматического расстояния. Вместо одной точки измерения этот датчик отображает 192 точки измерения, расположенные на равном расстоянии друг от друга вдоль одной линии. Таким образом, сканирование образца становится возможным в несколько раз быстрее, чем обычно требуется для точечных датчиков.

Конфокальный микроскоп

Принцип измерения, используемый в конфокальном микроскопе (CFM), представляет собой бесконтактный метод измерения для очень быстрых 3D-измерений небольших структур с высоким разрешением. Благодаря конфокальному методу измерения, который основан на измерении площади, значимые результаты можно получить за несколько секунд.

Интерферометр белого света

Интерферометр белого света (WLI) - это оптический 3D-датчик поверхности, основанный на методе интерферометрии белого света. Он характеризуется быстрыми измерениями плоского рельефа с отличным разрешением по высоте в субнанометровом диапазоне.

Датчики толщины

Кроме того, могут быть использованы оптические датчики толщины пленки с интерферометрическими или рефлектометрическими методами, позволяющие без разрушения определять толщину пленки от нескольких миллиметров до менее чем одного нанометра. Тонкопленочный датчик FTR может использоваться для измерения толщины прозрачных тонких пленок и пакетов слоев. Тонкопленочный датчик FTR основан на измерении отражения со спектральным разрешением и сложном программном обеспечении для оценки. Для материалов, непрозрачных для видимого света, но прозрачных для инфракрасного излучения, FRT позволяет измерять толщину с помощью IRT. IRT - это интерферометрический датчик толщины пленки с источником инфракрасного излучения, который был специально разработан для измерения толщины материалов, прозрачных для ближнего инфракрасного излучения.

Атомно-силовой микроскоп

Если высокого пространственного разрешения оптического датчика недостаточно, можно использовать атомно-силовой микроскоп (АСМ). АСМ позволяет проводить топографические измерения с разрешением ниже нм. Мы также предлагаем АСМ, который может быть установлен на вашем световом микроскопе как обычный объектив, чтобы расширить разрешающую способность и измерительные возможности вашего прибора.

Основные моменты

Сочетание уникальных принципов метрологии и контрольных измерений в одном приборе обеспечивает максимальную гибкость

Различные оптические датчики позволяют получать разносторонние результаты по нескольким параметрам поверхности, таким как рельеф, шероховатость, изгиб и деформация поверхности, плоскостность, копланарность, толщина образца и слоя

Модернизация датчиков открывает дополнительные возможности для гибкой адаптации к будущим задачам измерения