Golden Eagle

Предназначен для контроля панелей и метрологии

• Размер опорной панели – до 650x650 мм
• Новая гранитная платформа
• Высококачественный оптический канал
• Обнаружение на основе CAD
• Проверка RDL для систем с разветвлением
• Специальные алгоритмы для превосходного обнаружения

Основные характеристики

• Чувствительность обнаружения BF - 0,8 мкм; DF - 0,6 мкм
• Многократное увеличение для оптимальной чувствительности
• Яркое и темное поле с цветными фильтрами
• Обнаружение на основе CAD
• Включает алгоритм обнаружения для каждой зоны для оптимальной чувствительности
• Позволяет выполнять последовательные сканирования с различными механизмами фокусировки, освещения и обнаружения