Eagleᵀ-AP Plus

Разработанный для современного рынка Eagleᵀ-AP Plus обеспечивает непревзойденные метрологические возможности при сохранении чрезвычайно высокой производительности и пропускной способности.

• Более 60 миллионов выпуклостей на пластину
• 100% измерение высоты выпуклостей
• Диапазон выпуклостей: 2-250 мкм
• Компакт-диск / наложение на объект любого типа и размера
• Точное положение сдвига матрицы
• Метрология EBR
• Автоматическая настройка / калибровка
• Конфигурации со сверхвысокой производительностью
• Профилирование по высоте и глубине

Возможности

Измерение высоты выступа, плоскостности, толщины PR / PI с помощью сквозной глубины отверстия и межповерхностной метрологии

Триангуляционный датчик Camtek (CTS): высокоскоростное 3D-сканирование

Конфокальный датчик Camtek (CCS): 3D-отображение области профиля с высоким разрешением

Профили светового интерферометра Camtek (CLIP)