F300-DPW

Это оборудование в основном используется для обнаружения дефектов плоских таблеток, таких как сапфир, GaN, GaAs, SiC, танталат лития и т.д. Оно может обнаруживать и отличать дефекты, такие как частицы, царапины, ямки, неровности и грязь. Различные технические характеристики могут быть предоставлены в соответствии с потребностями заказчика, а минимальное время обнаружения размер может составлять всего 0,3 мкм; он обладает высокой производительностью для достижения полного обнаружения.

Технические характеристики

• Оснащен AOI, OCR и другими функциями, совместимыми с 4-дюймовыми и 6-дюймовыми пластинами.
• Оптическая линза собственной разработки: поле зрения 15,6 мм
• Минимальная способность к обнаружению дефектов: 0,3 мкм
• Частота обнаружения дефектов ≥98%
• Повторяемость дефектов > 95%
• Скорость распознавания текста при лазерной гравировке ≥99,9% (опционально).
• Производственная мощность 4 дюйма ≥100 штук в час.
• Производственная мощность 6 дюймов ≥60 штук в час.
• С 12 коробками для материалов меньшего размера (кассета).
• С функцией бесконтактного выравнивания.
• С функцией сортировки пластин.
• Имеет функцию вывода отчетов о проверке и карт распределения дефектов.
• Имеет функцию классификации дефектов, которая позволяет идентифицировать категории дефектов.
• Поддерживает полуавтоматический стандартный коммуникационный интерфейс SECS/GEM.