Прибор для измерения толщины и однородности металлов и диэлектриков SW-3300

Технические характеристики

Semilab AMS SW-3300 использует эксклюзивную технологию SurfaceWave™ для измерения толщины и однородности тонкопленочных металлов и диэлектриков. Это недорогой, но мощный продукт, созданный специально для материалов с низким содержанием меди. Это превосходное средство измерения желоба для бутылок, прямого желоба, толщины и состава диэлектрического слоя.

Особенности и системные спецификации:

• Метрология для смешанных пластин диаметром 200/300 или 150/200 мм
• Надежные твердотельные лазеры со сроком службы более 1 года
• Точное и воспроизводимое измерение рисунка
• Самая низкая стоимость владения среди всех бесконтактных систем на рынке
• Простота в использовании
• Проверенный послужной список надежности
• Качество и долговечность Semilab AMS
• SEMI S2/S8 и соответствующие стандартам CE мини-среды Fed 209E класса 1 (класс ISO 2) для автоматизации 300-миллиметровых драгоценных камней.

Порт двойной загрузки настраивается следующим образом:

• Двойной FOUP
• Двойной SMIF
• Мостовой инструмент FOUP & SMIF
• Открытая кассета

Полулаборатория AMS SW3300A

Усовершенствованный SW 3300A был анонсирован в середине 2007 года. Он содержит те же функции, что и SW 3300, и добавляет многослойные измерения.