Профилировщик сопротивления растеканию SRP-2100i с возможностью ввода-вывода

Технические характеристики

Изучите определение структуры и мониторинг профиля составных полупроводников, а также измерение профилей удельного сопротивления и плотности носителей во всех кремниевых полупроводниковых структурах, обрабатываемых приборами, с помощью этой автоматизированной системы. Диапазон измерений соответствует современным требованиям применения.

Измеряемые параметры

• Концентрация легирующей примеси и удельное сопротивление материалов Si
• Форма профиля плотности носителя и удельного сопротивления
• Профиль сопротивления составных полупроводников: AlGaAs, GaAs, GaN, Ga2O3, InP, SiC
• Структуры AlGaN/GaN HEMT
• Глубина соединения
• Ширина перехода
• Сопротивление листа
• Электрически активируемая доза
• Измерение угла скоса (BAM)

Характеристики

• Сверхширокий диапазон измерений, гибкое применение
• Высокое разрешение, неперекрывающиеся измерения
• Переходная зона, расчет глубины соединения
• Измерение угла скоса на месте (BAM)
• Готовы к обновлению с помощью опции PCIV
• Малошумный, сверхвысокоточный каскад
• Эффективная, высококачественная вибро- и звукоизоляция
• Сенсорный пользовательский интерфейс и удобное программное обеспечение

Опции

• Опция PCIV для применения в широкой запрещенной зоне и SOI: сочетает в себе переменную погрешность измерения и анализ кривой ток-напряжение для измерения профиля сопротивления распространению новых полупроводниковых материалов.
• Итеративный вариант программного обеспечения PCIV (iPCIV): предназначен для измерения сильно изменяющихся образцов с очень высоким значением сопротивления (идеально подходит для диапазона тока ниже 1E-11 A).
• Измерение мелкого слоя (SLM): расширение метода SRP для определения тонкослойной структуры
• Переменное расстояние между зондами (VPS): моторизованное перемещение расстояния между зондами позволяет измерять сопротивление листа тонких изолированных слоев.
• Измерительная камера с регулируемой температурой (TCM)
• Сигнальная вышка: стандартная промышленная сигнальная вышка, которая предоставляет информацию о состоянии системы.
• Автономный блок полировки образцов с фаской