Профилировщик сопротивления растеканию SRP-170

Технические характеристики

Система SRP-170 - это экономичная, коммерчески доступная метрологическая система профилирования сопротивления распространению для профилирования удельного сопротивления и плотности носителей во всех кремниевых полупроводниковых структурах, используемых в приборостроении.

Измеряемые параметры

• Концентрация легирующей примеси и удельное сопротивление
• Форма профиля плотности носителя и удельного сопротивления
• Глубина соединения
• Ширина перехода
• Электрически активируемая доза

Характеристики

• Переходная зона, расчет глубины соединения
• Малошумный, сверхвысокоточный каскад
• Эффективная, высококачественная вибро- и звукоизоляция в измерительной камере
• Сенсорный пользовательский интерфейс и удобное программное обеспечение

Опции

• Измерение угла скоса (BAM): лазерный датчик, позволяющий с высокой точностью измерять фактический угол скоса образцов для точного профилирования глубины.
• Автономный блок полировки образцов с фаской