Система для исследования электронной структуры различных материалов SPL-2200/2500

Технические характеристики

SPL-2200/2500 - это бесконтактная, неразрушающая измерительная система на основе спектроскопии для исследования электронной структуры различных материалов.

Особенности и системные спецификации:

• Размер пластины: 150/200 – 300 мм
• Два порта загрузки (FOUP /SMIF)
• Фиксированная входная щель и фиксированный спектральный диапазон для спектрографов
• Высокоэффективная решетка
• Высокоэффективные детекторы
• Быстрая автоматическая фокусировка (с датчиком расстояния)
• Высокоскоростная ступень x, y, z
• Автоматизированное измерение и анализ
• Операционная система Windows® 10 для многозадачности
• Пользовательский интерфейс SAM™ соответствует стандарту SEMI® (E95-0200)