Натурный спектроскопический эллипсометр InSe-1000

Технические характеристики

Новая система измерения толщины InSe-1000 на месте обеспечивает мгновенный доступ к толщине слоя и оптическим свойствам посредством эллипсометрического спектрального анализа во время процессов нанесения слоев в вакуумных камерах и загрузочных люках.

InSe-1000 входит в семейство эллипсометрических инструментов Semilab, специально разработанных для измерений в вакуумных камерах во время процессов нанесения или обработки или в загрузочных люках. Легко монтируемые рычаги могут быть размещены в вакуумной камере или на автономном испытательном стенде для детального исследования конечного продукта. Электронные компоненты и дополнительные системы расположены в шкафу, который может быть размещен рядом с инструментом для нанесения покрытия. Интерфейс Ethernet обеспечивает последовательность измерений по требованию с помощью инструмента для нанесения покрытия и протокола двусторонней связи.

Особенности и технические характеристики системы:

• Интерфейс вакуумного порта CF-40
• Короткодуговая ксеноновая лампа мощностью 75 Вт по оптоволокну
• Вращающаяся компенсаторная оптика
• Расходимость луча <0,2o (при параллельном пучке, без фокусировки)
• Компактные рычаги
• Спектральное разрешение для быстрого режима

Программное обеспечение:

• Мгновенная визуализация данных измерений и результатов подгонки: толщина и оптические свойства
• Моделирование каждого слоя всеми известными методами, включая законы дисперсии, модель сплава, периодические слои, модель фазового узла, оценку анизотропного слоя или заданную пользователем свободную формулу
• Протокол связи на основе Ethernet с компьютером инструмента для нанесения покрытий
• Самая большая база данных (n, k)