Метрологическая система FAaST 300-SL

Технические характеристики

Система FAaST 300 SL - это ультрасовременная бесконтактная электрическая метрологическая система, которая объединяет оба запатентованных Semilab SDI метода микро- и макрокороны Кельвина в единую платформу, предназначенную для поддержки передовых исследований и разработок, а также для самых требовательных условий крупносерийного производства.

Особенности и системные спецификации:

• Автоматическая роботизированная обработка пластин
• Двойной порт загрузки FOUP; дополнительная конфигурация с одним портом загрузки или с включением Versaport
• Подходит для измерений на пластинах с рисунком (микро) и мониторных пластинах (макро).
• Semilab SDI запатентовала микро-коронную микроскопию высокого разрешения (10 мкм) по Кельвину на основе зондовой силовой микроскопии Кельвина (KPFM) для измерения свойств диэлектриков и границ раздела в тестовых зонах Scribe Line (до 40 мкм x 40 мкм) и активных областях устройства.
• Усовершенствованный двухэтапный контроль невизуальных дефектов (NVD), сочетающий полную визуализацию макроповерхностного напряжения пластины и сфокусированную визуализацию внутрипластинчатого напряжения высокого разрешения с использованием KPFM
• Автоматическое программируемое отображение участков или контуров диэлектрических свойств, включая:
  • Диэлектрическая емкость (CD) и толщина (EOT),
  • Ток утечки диэлектрика (I-V)
  • Напряжение плоской полосы (Вfb),
  • Плотность межфазной ловушки (Dit),
  • Захваченный заряд интерфейса (Qit),
  • Поверхностный барьер полупроводника (Vsb),
  • Общий заряд оксида (Qtot),
  • Подвижный ионный заряд (Qm), среди прочих
• Программный пакет FAaST, включающий приложения для измерения, составления рецептов и просмотра данных
• Подходит для измерений на: полупроводниках (например, Si, SiGe, InGaAs, SiC, GaN) с диэлектрическими пленками с высоким и низким содержанием k (например, SiO2, SiNx, Al2O3, HfO2; смешанные диэлектрики и пакеты диэлектрических пленок).
• Конфигурация по умолчанию для 300-миллиметровых пластин; с возможностью настройки моста 200 мм/300 мм
• Линейный кондиционер с гибкой совместимостью
• Совместимость для настройки с другими технологиями инструментальных измерений Semilab SDI FAaST
• Дополнительные доступные опции включают: Мини-среду, 300-миллиметровую автоматику, совместимую с Semi, сейсмические кронштейны, распознавание текста на пластинах, RFID, кассетный считыватель штрих-кодов, диапазон измерений 1000 В