Оборудование для измерения

Измерительное оборудование Long / short inch в основном используется для измерения TP (общего шага), CS (смещения центра), CD (критического размера) и OL (наложения) в TFT, CF, TPOT, COE и других процессах производства дисплеев. Оборудование этой серии может поддерживать измерение подложек различных поколений.
Серия SOM200 - это длиннодюймовое измерительное оборудование, также известное как оборудование для обнаружения деформации подложки или прецизионная машина для измерения длины, в основном используемое для длиннодюймовых измерений TP и CS, совместимое с короткодюймовыми измерениями CD и OL.
Серия SCD200 - это ключевое оборудование для измерения размеров, в основном используемое для измерения короткодюймовых компакт-дисков и OL-дисков.

Технические характеристики

• Высокая точность измерений

Оборудование серии SOM200 оснащено многоканальным лазерным интерферометром, а оборудование серии SCD200 оснащено решетчатой линейкой для достижения высокоскоростного, высокоточного позиционирования и измерения.

• Высокоточный контроль температуры

В нем используется высокоточная технология контроля температуры и сверхэффективная система фильтрации для эффективного обеспечения равномерности температуры в машине.

• Высокая эффективность измерений

Ось перемещения подвижного стола сконструирована с использованием конструкции высокой жесткости, которая обеспечивает более высокую скорость перемещения, более стабильную конструкцию и более высокую эффективность измерений.

• Многофункциональное измерение

Основными функциями устройств серии SOM200 являются измерение общего шага и смещения центра, и в то же время они совместимы с функциями измерения коротких дюймов CD и OL. Продукты серии SCD200 позволяют измерять CD и OL на короткие дюймы.