Встроенный набор гравировально-измерительного оборудования SHM800 для рассеивания

Набор гравировального и измерительного оборудования SHM800 измеряет погрешность гравировки на основе рассеянного оптического сигнала. Продукты серии SHM800 в основном используются в технологическом сегменте advanced process (55 нм ~ 7 нм), который позволяет выполнять быстрые и высокоточные измерения гравировки, а также сотрудничать с системой управления технологическим процессом и литографическим станком для повышения производительности гравировки при изготовлении пластин и улучшения возможностей управления технологическим процессом.

Технические характеристики

• Удовлетворяйте потребности в гравировке передовых процессов, таких как логика, память, Dram и т.д.
• Позволяет добиться высокой скорости измерения большого количества выгравированных точек измерения.
• Совместим с микромаркировкой для измерения в штампе передовых узлов.
• Обеспечивают многомерную регулируемую конфигурацию с превосходной технологичностью
• Обеспечивает автоматическую оптимизацию условий измерения в соответствии с технологическими условиями
• Может обеспечить интегрированное решение для измерения литографии с целью повышения стабильности гравировки