Автоматическое оптическое оборудование для обнаружения дефектов серии SOI500

Полностью автоматическое оптическое оборудование для обнаружения дефектов серии SOI500 может автоматически сканировать рисунок поверхности пластины, автоматически идентифицировать в ней дефекты и классифицировать обнаруженные дефекты.Это может значительно улучшить возможности управления технологическим процессом в процессе производства вафель. Этот тип оборудования все более широко используется производителями интегральных схем, такими как Qiandao chip manufacturing и advanced chip packaging.

Технические характеристики

• Отличная функция обнаружения остатков клея

Уникальная оптическая система может улучшить контрастность изображения и помочь выявить остатки клея, остатки металла или другие низкоконтрастные дефекты.

• Автономное программное обеспечение

Автономное программное обеспечение позволяет техническим специалистам легко подтверждать и классифицировать дефекты.

• Богатая система освещения изображений

Система имеет множество конфигураций освещения для получения изображений: камера объектива содержит 5 слотов для карт памяти, и могут быть предварительно установлены объективы с увеличением 1X, 2X, 3.5X, 5X, 10X, 20X, 50X или 100X. Можно переключать светлое и темное поля и регулировать интенсивность освещения.

• Поддержка нескольких условий работы

Он может поддерживать 4-дюймовые, 6-дюймовые, 8-дюймовые и 12-дюймовые большие деформированные кремниевые пластины и поддерживает различные интерфейсы материалов, такие как кассета, FOUP и SMIF.

• Большое поле обзора при сканировании

Независимо разработан объектив с большим сканирующим полем зрения с разрешением до 0,5 мкм, что значительно повышает эффективность обнаружения.

• Низкая стоимость

Эффективная полностью автоматическая система подачи кремниевых пластин и высокоскоростной обрабатывающий стол с большим ходом обеспечивают эффективное производство и эффективно снижают эксплуатационные расходы пользователей.

• Интеллектуальное обнаружение

Передовое программное обеспечение автоматического интеллектуального обнаружения может эффективно выявлять небольшие дефекты на низкоконтрастном и сложном фоне, обеспечивая высокую скорость обнаружения и низкий уровень ложных срабатываний.