В основном используются для точного контроля температуры реакционной камеры в полупроводниковом процессе.
Технические характеристики
- Диапазон регулирования температуры: -45℃ - +90℃, точность регулирования температуры: 0,1℃;
- Технология преобразования частоты для получения высокоэффективных и энергосберегающих продуктов;
- Передовая технология уплотнения для уменьшения утечки и улетучивания циркулирующей жидкости;
- В соответствии со стандартами SEMI продукция может быть настроена в соответствии с потребностями.
Технические параметры
|
Диапазон температур |
-45℃ - +90℃ |
|
Точность контроля температуры |
0.1℃ |
|
Максимальный расход/давление |
15-45Л/мин 6 бар |
|
Нагрев |
3,5 кВт |
|
Мощность охлаждения |
2,5кВт при -35℃ |
|
Внутренний объем циркулирующей жидкости |
8 л |
|
Объем расширительного бака |
25 л |
|
Теплопроводящая среда |
Фторированная жидкость, антифриз, теплопроводное силиконовое масло и т. д |
|
Хладагент |
R404A/ R448 |
|
Охлаждающая вода |
50Л/мин при температуре 20℃ |
|
Источник энергии |
Трехфазный 460В |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
FLTZ-406W/2T |
По запросу |
JoomShopping Download & Support