Оборудование этой серии представляет собой специальное оборудование для очистки пластин CMP, имеющее однопозиционную конструкцию с одной полостью.
Технические характеристики
- Хорошая совместимость;
- Процесс очистки;
- Чистка ПВА односторонней и двусторонней щетки;
- Система управления ПЛК.
Технические параметры
|
Технология |
Двусторонняя очистка |
|
Верхняя и нижняя пленка |
ручной |
|
Станция очистки |
Одиночная полость, одиночная станция |
|
Размер пластины |
4-12 дюймов |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
TSC-300s |
По запросу |
JoomShopping Download & Support