Оборудование с двойными полировальными дисками, которое может осуществлять одновременную обработку по четырем осям. Система может быть сконфигурировано с соответствующими полировальными головками в соответствии с различными пластинами. Пластины фиксируются вакуумной адсорбцией, воздушные мешки находятся под давлением, а полировальный индентор вращается и качается одновременно. Подходит для полировки различных полупроводниковых материалов.
Технические характеристики
- Хорошая совместимость;
- Система привода вращения и поворота полировального индентора.
Технические параметры
|
Размер пластины |
8 дюймов |
|
Полировальный диск |
630 мм |
|
Количество полировальных дисков |
2 шт. |
|
Количество полировальных головок |
4 шт. |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
TAP-600 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support