Оборудование может быть сконфигурировано с соответствующими полировальными головками в соответствии с различными пластинами. Пластины фиксируются вакуумной адсорбцией, подушка безопасности находится под давлением, а полировальный индентор вращается и имеет обе функции поворота. Подходит для полировки различных полупроводниковых материалов.
Технические характеристики
- Система привода вращения и поворота полировального индентора;
- Вакуумная адсорбция, наддув в пластинчатых подушек безопасности;
- Управление термостатом;
- Хорошая совместимость;
- Калибровка давления;
- Простая обработка.
Технические параметры
|
Полировальный диск |
450 мм |
|
Количество полировальных головок |
2 шт. |
|
Качание полировальной головки |
Регулируемая скорость качания |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
TAP-450 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support