Оборудование оснащено системой охлаждения полировального диска и контроля температуры для обеспечения постоянной температуры процесса полировки, а также полностью автоматической загрузкой и разгрузкой, режимами обработки на мокром входе и на мокром выходе, которые реализуются с помощью заклинивания и манипуляторов. С различными типами полирующих жидкостей он подходит для полировки различных полупроводниковых материалов.
Технические характеристики
- Увлажнение пластин;
- Полностью автоматическая система.
Технические параметры
|
Полировальный диск |
630 мм |
|
Количество полировальных шпинделей |
3 шт. |
|
Количество полировальных головок |
4 комплекта по 8 шт. |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
TFP-2310 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support