Технические характеристики
- Одностороннее удаление напряжений с одновременным истончением позволяет сократить время обработки, обеспечивая стабильное истончение пластин до толщины менее 50 мкм и их транспортировку;
- Трехшпиндельный четырехпозиционный полностью автоматический станок для истончения пластин обеспечивает весь цикл прецизионной обработки, включая грубое и тонкое шлифование, полировку, транспортировку, мойку, а также автоматическое нанесение и удаление защитной пленки. Третий шпиндель позволяет выполнять сухую полировку или ультрапрецизионное шлифование (опционально), обеспечивая широкий спектр применений.
Технические параметры
|
Способ шлифовки (Z1, Z2) |
— |
Продольное врезное шлифование с вращением пластины |
|
Способ шлифовки (Z3) |
— |
Продольное врезное шлифование с нерегулярным вращением пластины |
|
Конструкция |
— |
3 шпинделя, 4 держателя пластин, 1 поворотный стол |
|
Размер обработки |
мм |
Макс. ø300 (Φ8"–Φ12") |
|
Диаметр шлифовального круга |
— |
Φ300 мм (алмазный круг, оси Z1/Z2) |
|
Тип шпинделя |
— |
Высокочастотный двигатель со встроенным пневмошпинделем |
|
Количество шпинделей |
— |
3 |
|
Номинальная мощность |
кВт |
7.5 |
|
Скорость шпинделя |
об/мин |
1000–4000 |
|
Фиксация пластины |
— |
Вакуумная адсорбция |
|
Тип держателя |
— |
Многопористая керамическая плита (совместимость с 8/12 дюймами) |
|
Скорость держателя |
об/мин |
0–300 |
|
Количество держателей |
шт. |
4 |
|
Диапазон измерений |
мкм |
0–1800 |
|
Разрешение |
мкм |
0.1 |
|
Повторяемость |
мкм |
±0.5 |
|
Количество кассет |
— |
2 |
|
Режим обработки кассет |
— |
Возврат в ту же/другую кассету |
|
Система очистки |
— |
Водная мойка и сушка |
|
Габариты |
мм |
1905×3534×1874 |
|
Вес оборудования |
кг |
6750 |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Сверхточная прореживающая машина WG-1271 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support