Выравниватель маски ELS106FA-B/ELS106FA

Размер работы：

50 мм ~ 150 мм

Размер

 4" ~ 7" Кварц или натриевая известь

Диапазон длин волн

Широкая полоса
( i линия  365 нм / ч линия  400 нм / g линия  436 нм )

Интенсивность света

> 16 мВт/^см2 при 365 нм (250 Вт)
> 40 мВт/^см2 при 365 нм (500 Вт)

Источник лампы

лампа высокого ртутного столба

Равномерность интенсивности света

< 3% в пересчете на пластину диаметром 4 дюйма

Эффективная площадь воздействия

Макс. 150 мм x 150 мм

Тип робота

Двойные манипуляторы с системой картографирования

Режим экспозиции

бесконтактный / мягкий контакт / жесткий контакт /
вакуумный контакт

Ключ выравнивания

150 мx 150ми меньше

Точность юстировки

±2μм для выравнивания
верхней стороны ±3μм для выравнивания нижней стороны

Разрешение

1μм в зависимости от контактного режима и толщины PR 1μм

Время такта

Верхняя сторона < 36 сек./шт
Нижняя сторона < 45 сек./шт

Управление системой

 ПК

Опции

Фильтр
для резки 500 Вт лампа дом
для ламп DUV лампа для дома
измеритель мощности

Модель

ELS106FA-В

Размер работы：

ψ50 мм ~ 150 мм пластина

Размер

 4" ~ 7" кварц или натриевая известь

Диапазон длин волн

Широкая полоса
( i линия  365 нм / ч линия  400 нм / g линия  436 нм )

Интенсивност света

> 16 мВт/^см2 из расчета 365 нм (250 Вт)
> 40 мВт/^см2 из расчета 365 нм (500 Вт)

Источник лампы

лампа высокого ртутного столба

Равномерность интенсивности света

< 3% в пересчете на пластину диаметром 4 дюйма

Эффективная площадь воздействия

Макс. 150 мм x 150 мм

Тип робота

двойные манипуляторы с системой картографирования

Режим экспозиции

Близость / Мягкий контакт / Жесткий контакт /Вакуумный контакт

Ключ выравнивания

150 мx 150ми меньше

Точность юстировки

±2м

Разрешение

1μм в зависимости от контактного режима и толщины PR 1μм

Время такта

< 36 сек./шт

Управление системой

 ПК

Опции

Фильтр
для резки 500 Вт лампа дом
для ламп DUV лампа для дома
Измеритель мощности

Модель

ELS106FA

Модель

Стоимость, доллары США

ELS106FA-B/ELS106FA

По запросу