Автоматическая система обработки пластин для PECVD

Применение

Устройство является онлайн-типом и может быть соединено с одной или двумя боковыми печами, что обеспечивает автоматическую передачу графитовых поддонов и автоматическую загрузку и выгрузку кремниевых пластин. Оно удовлетворяет требованиям процесса PECVD в производстве солнечных элементов, автоматически загружая кремниевые пластины из контейнера в графитовый поддон и передавая графитовый поддон в оборудование PECVD или передавая графитовый поддон из оборудования PECVD в это устройство и автоматически загружая кремниевые пластины из графитового поддона в контейнер.

Технические характеристики

• Модульный дизайн оборудования позволяет подключать одну или две PECVD онлайн.
• Управление осуществляется с помощью ПК, меню управления на планшете простое и понятное.
• Обладает функциями онлайн-детекции трещин на пластинах, онлайн-измерения толщины пленки, онлайн-детекции цветовых различий, онлайн-детекции поднятия CCD-плитки и автоматической обработки бракованных пластин (дополнительная функция, стоимость оговаривается отдельно).
• Онлайн/офлайн конфигурация.
• Совместим с AGV, RFID, дополнительная функция MES по выбору.

Технические параметры