Система для контроля пластин 8-12 дюймов R11230-A

Технические характеристики

• Загрузочный порт: совместим с 8-дюймовой кассетой и 12-дюймовым пластинчатым картриджем с 25 слотами FOUP / FOSB.;
• Закрытый пластинчатый картридж позволяет автоматически открывать крышку.;
• Одновременное перемещение манипулятора для перемещения пластин по четырем осям делает передачу безопасной и стабильной, а два поперечных рычага снимаются и устанавливаются для повышения эффективности перемещения пластин.;
• Микроскоп оснащен камерой мощностью 1200 Вт, которая может быть оснащена объективом с увеличением 2,5X, 5X, 7,5X и 10X, а максимальная точность в один пиксель может достигать 0,5 мкм; изображение микроскопа четкое, а объектив можно автоматически переключать.