Версия с азотным загрузочным отверстием который используется в качестве окна для ввода пластины в EFEM и выхода из нее. Обеспечивает превосходную надежность и сверхчистую производительность.
Технические характеристики
- Подходит для 8 ~ 12-дюймового полупроводникового оборудования EFEM кассетного типа.;
- Стандарт размещения SEMI E63.;
- Встроенное обнаружение выступов.;
- Автоматическая идентификация RFID.;
- Сигнализация безопасности эксплуатации.;
- Закрытая рабочая среда.
Технические параметры
|
Модель |
RL1225-E |
|
Размеры |
L470 x D495 x H1386 мм |
|
Вес |
75 кг |
|
Осмотр лезвия |
Есть |
|
Функция защиты от защемления |
Есть |
|
Функция заполнения азотом |
Есть |
|
Время такта |
25 секунд |
|
Материал |
Серебристый алюминий/Оловянная сталь |
|
Входная мощность |
220Вт 1P/2A |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
RL1225-E |
По запросу |
JoomShopping Download & Support