Полностью автоматическая машина для удаления и очистки кромок

Технические характеристики

1. Подходит для удаления краев кремниевых пластин диаметром 6–8 дюймов.
2. Два комплекта механических присосок для автоматической загрузки и выгрузки. Робот транспортирует кремниевые пластины от загрузочного конца к нижним присоскам и автоматически выравнивает их.
3. Метод адсорбции с вакуумной присоской. Осуществляет транспортировку кремниевых пластин.
4. Позиция разгрузки имеет независимый разгрузочный желоб, промывает разгрузочный материал и автоматически входит в держатель пластин.
5. Предназначен для повторного использования чистой воды;
6. Точность удаления кромок; составляет 0,6 мм
7. В части управления используются импортные PLC и HMI. Все электрические цепи и цепи, которые могут контактировать с кислотным туманом, обработаны антикоррозионной изоляцией PFA. Электрический шкаф наполнен CDA/N2 для защиты электрических компонентов управления.
8. Передняя часть машины оснащена чистой водой из PTFE. Один пистолет и один азотный пистолет из PTFE расположены с правой стороны.
9. Стандарты проектирования оборудования реализованы в соответствии со стандартами полупроводниковой промышленности (SEMI-S2-93) и ISO9001. система менеджмента качества стандартизирована и гарантирована.