Оборудование для травления металла Kessel® Pishow® M2

8-дюймовое оборудование для травления металла.

Технические характеристики

• Оборудование для травления металла Kessel® Pishow® M2 представляет собой оборудование массового производства для производства 8-дюймовых интегральных схем.
• Оборудование состоит из камеры травления с индуктивно-связанной плазмой (камера травления ICP), камеры стрипа, камеры охлаждения и модуля переноса.
• Процесс травления алюминиевых межсоединений высокой плотности для 0,11 микрон и других поколений технологий.

Данные процесса.

Стабильный профиль диаграммы направленности в течение 400 РФ·ч.

Оборудование для травления металла Kessel ® Pishow ® M2 — это машина массового производства, которую можно использовать для процессов соединения металлов алюминия на линиях по производству 8-дюймовых микросхем. Благодаря оптимизированной конструкции собственной разработки оно обеспечивает превосходную однородность травления (< внутри кристалла) 5%, расстояние между чипами <3%), отличный коэффициент селективности травления (Al:PR>2,4) и отличный контроль частиц. В процессе травления алюминиевых межсоединений с использованием технологии замены 0,11 мкм он может обеспечить производственную мощность 20 000 штук в месяц. MTBC может достигать 400RF·ч и обладает превосходной стабильностью.

Экономичное решение оборудования и превосходное использование пространства могут помочь клиентам модернизировать свои производственные мощности.