12-дюймовое оборудование для травления твердой маски Herent® Chimera®A (Херент ® Химера ® А)

12-дюймовое оборудование для травления твердой маски.

Технические характеристики

• Herent® Chimera® Оборудование для травления металлической твердой маски представляет собой оборудование массового производства для производства 12-дюймовых интегральных схем.
• Оборудование состоит из камеры травления индуктивно-связанной плазмой (камера травления ICP) и модуля переноса (transfer modul).
• Подходит для процессов травления твердых масок, таких как TiN для 55 нм и других поколений технологий.

Herent®Chimera® Оборудование для травления металлической твердой маски предназначено для травления металлической твердой маски из нитрида титана (TiN) (металлическая твердая маска открыта) в внутренних медных соединениях 12-дюймовых IC. Это оборудование имеет высокую повторяемость. Специальные продукты. Разработан для 12-дюймовой производственной линии для удовлетворения различных потребностей в травлении твердых масок. Кроме того, камеру травления твердой маски Chimera®A можно использовать в качестве дополнительного модуля к оборудованию LMEC-300™ для реализации интегрированного процесса от травления металлической твердой маски до травления функционального слоя устройства.