Технические характеристики
Станок для шлифования кромок пластин MET-5800 предназначен для 12-дюймовых полупроводниковых пластин с характеристиками высокой точности.
Станок для шлифования кромок пластин MET-5800 предназначен для 12-дюймовых полупроводниковых пластин с характеристиками высокой точности, высококачественной шлифовальной поверхности, точного позиционирования кристаллов и стабильной работы. Станки могут обрабатывать 12-дюймовые пластины из различных материалов.
Преимущество продукта
Гибкий
Ноу-хау процесса можно настроить в системе программного обеспечения в соответствии с требованиями процесса клиента.
Высокая точность
Точность шпинделя собственной разработки составляет до 1 мкм.
Высокая надежность
Бесконтактный метод центрирования и измерения обеспечивает стабильное выравнивание.
Технические параметры
|
Модель |
МЕТ-5800 |
|
Размер пластины |
12 дюймов |
|
Толщина пластины |
250 мкм-1000 мкм |
|
Шлифовальная станция |
Одна станция, двойная станция |
|
Форма края пластины |
R-образный, Т-образный, Двойной R-образный |
|
Размер и вес машины |
Д3300×Ш2200×В2200мм；3000кг |
|
Точность шпинделя по осям X/Y/Z шлифовального стола |
Точность шпинделя XYZ: ± 1 мкм |
|
Точность плоскостности поверхности патрона: ± 3 мкм |
|
|
Точность θ шпинделя патрона: ±1 мкм |
|
|
Точность θ шпинделя шлифовального круга: ± 1 мкм |
|
|
Периферийный шлифовальный круг(OD GROOVE) |
φ200 мм |
|
Периферийный шлифовальный круг (OD Periphery) |
φ202 мм |
|
Периферийный шлифовальный круг (ID ) |
φ30 мм |
|
Периферийный шлифовальный круг(Толщина) |
20 мм |
|
Шпиндель периферийного шлифовального круга частота |
4000 об/мин или 8000 об/мин (в зависимости от требований клиента) |
|
Вырезной шпиндель частота |
50000-160000об/мин |
|
Центрирующий механизм |
|
|
Метод измерения |
Бесконтактное или контактное измерение толщины (по требованию клиента) |
|
Точность разрешения |
1 мкм |
|
Точность центрирования |
20 мкм |
|
Механизм очистки |
|
|
Метод очистки |
Очистка отжима |
|
Метод сушки |
Сухой воздух |
|
Блок передачи |
|
|
Система загрузки |
Тип кассетного носителя |
|
Номера кассет |
4 комплекта |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
MET-5800 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support