Станок для шлифовки кромок пластин МЕТ-5800


Производитель: Jiangsu Jinggong Semiconductor Equipment, Китай.

0 USD

Технические характеристики

Станок для шлифования кромок пластин MET-5800 предназначен для 12-дюймовых полупроводниковых пластин с характеристиками высокой точности.


Станок для шлифования кромок пластин MET-5800 предназначен для 12-дюймовых полупроводниковых пластин с характеристиками высокой точности, высококачественной шлифовальной поверхности, точного позиционирования кристаллов и стабильной работы. Станки могут обрабатывать 12-дюймовые пластины из различных материалов.

 

Преимущество продукта

Гибкий

Ноу-хау процесса можно настроить в системе программного обеспечения в соответствии с требованиями процесса клиента.

Высокая точность

Точность шпинделя собственной разработки составляет до 1 мкм.

Высокая надежность

Бесконтактный метод центрирования и измерения обеспечивает стабильное выравнивание.

Технические параметры

Модель

МЕТ-5800

Размер пластины

12 дюймов

Толщина пластины

250 мкм-1000 мкм

Шлифовальная станция

Одна станция, двойная станция

Форма края пластины

R-образный, Т-образный, Двойной R-образный

Размер и вес машины

Д3300×Ш2200×В2200мм;3000кг

Точность шпинделя по осям X/Y/Z шлифовального стола 

Точность шпинделя XYZ: ± 1 мкм

Точность плоскостности поверхности патрона: ± 3 мкм

Точность θ шпинделя патрона: ±1 мкм

Точность θ шпинделя шлифовального круга: ± 1 мкм

Периферийный шлифовальный круг(OD GROOVE)

φ200 мм

Периферийный шлифовальный круг (OD Periphery)

φ202 мм

Периферийный шлифовальный круг (ID )

φ30 мм

Периферийный шлифовальный круг(Толщина)

20 мм

Шпиндель периферийного шлифовального круга частота

4000 об/мин или 8000 об/мин (в зависимости от требований клиента)

Вырезной шпиндель частота

50000-160000об/мин

Центрирующий механизм

Метод измерения

Бесконтактное или контактное измерение толщины (по требованию клиента)

Точность разрешения

1 мкм

Точность центрирования

20 мкм

Механизм очистки

Метод очистки

Очистка отжима

Метод сушки

Сухой воздух

Блок передачи

Система загрузки

Тип кассетного носителя

Номера кассет

4 комплекта

 

Модель

Стоимость, доллары США

MET-5800

По запросу

Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support