Оборудование лазерного травления. Серия rainbow V1.0

Технические характеристики

Rainbow equipment - традиционное оборудование для лазерного травления с одним резонатором Lam с шириной линии травления ≥ 0,5 мкм; в основном оно используется для травления оксида кремния, нитрида кремния, поликремния, кремния и металлических материалов на пластинах размером 8 дюймов и ниже.Оборудование Rainbow занимает небольшую площадь и имеет высокую степень интеграции оборудования, что подходит для крупномасштабного производства.В то же время оборудование оснащено мощной радиочастотной системой и системой газоотвода, которая позволяет реализовать совместимое развитие различных процессов.Оборудование серии Rainbow может быть оснащено электростатической адсорбцией, системой Envision и т.д., а соответствующая конфигурация может быть выбрана в соответствии с различными технологическими требованиями; рынок оборудования имеет большое количество владельцев, и каналы поставок запасных частей идеальны.

Область применения
6-дюймовая, 8-дюймовая линия по производству традиционных полупроводников на основе кремния

После модернизации областями применения
станут 4-дюймовые, 6-дюймовые обработки карбида кремния, нитрида галлия, арсенида галлия и другие процессы.

Улучшенные преимущества продукта

• Дополнительная операционная система Envision для обеспечения более удобной работы, надежной записи и передачи данных
• 8-канальный MFC может быть настроен для различных процессов травления для исследований
  и разработок · Модернизированный комплект трансмиссии и резонаторов, соответствующий процессам передачи и поддержки прозрачных и тонких листов
• Настраиваемая и модернизированная радиочастотная система
• Доступная настраиваемая высокоточная радиочастота смещения для обеспечения травления GaN, GaAs и других материалов без повреждений
• Вакуумную систему можно настроить для модернизации, добавить молекулярный насос и модернизировать систему стабилизации давления, а также сотрудничать с индивидуальная радиочастотная система для удовлетворения потребностей в особом соотношении выбора процесса, соотношении сторон и меньшей ширине линии
• Обеспечивает разработку множества новых процессов и решений
• Программное обеспечение имеет безопасное и удобное управление правами, удобный интерфейс управления и совершенную функцию ведения журнала, а также поддерживает автоматизацию производства