Сentura 5200 серии V1.0

Технические характеристики
Платформа Centura 5200 DPS, eMax, Super-E, CVD
Введение
Платформа Centura 5200 представляет собой автоматизированную платформу AMAT с несколькими полостями, которая может устанавливать 6 полостей. Полостями для травления являются DPS Poly, DPS Metal, eMax, Super-E, MxP, MxP + и т.д., Которые могут использоваться для травления оксида кремния, нитрида кремния, поликремния, кремния и металлических материалов.Полости CVD имеют размеры DxZ, CxZ, TxZ, WxZ и т.д., которые могут использоваться для химического осаждения из паровой фазы диэлектрических материалов, таких как оксид кремния и нитрид кремния, а также металлов TiN и W.Платформа Centura 5200 отличается высокой степенью использования пространства и стабильной трансмиссионной платформой. Она может быть оснащена рычагом трансмиссии VHP для повышения эффективности использования оборудования. Она подходит для крупномасштабных производственных линий среднего и элитного класса.В то же время оборудование оснащено мощной радиочастотной системой и системой газоотвода, которая позволяет реализовать совместимое развитие различных процессов.Применимая конфигурация может быть выбрана в соответствии с различными технологическими требованиями, человеко-машинный интерфейс прост в эксплуатации, на рынке оборудования имеется большое количество владельцев, а каналы поставок запасных частей идеальны.

Область применения
6-дюймовая 8-дюймовая традиционная производственная линия на основе кремния

Обновленные области применения
Процесс получения карбида кремния, нитрида галлия, арсенида галлия

Улучшенные преимущества продукта

• Дополнительная сенсорная панель управления с жидкокристаллическим дисплеем для обеспечения более удобной работы
• Дополнительная система автоматического резервного копирования с двумя жесткими дисками для обеспечения безопасности данных
• Обновите комплект трансмиссии и полостей в соответствии с технологией передачи и поддержки прозрачных листов и хлопьев
• Разработайте множество новых технологических процессов и решений
• Индивидуальное оборудование может быть сконфигурировано с различной глубиной для достижения многоцелевого использования в одной машине.