Универсальный станок для окисления меди и титана (серия SC)

Область применения: Усовершенствованная упаковка
200~размер пластины: 300 мм
Технологический показатель: Равномерность скорости травления: ≤ 5% скорость извлечения жидкости из стружки ≥95%

Технические характеристики

• 2-4 полости
• 2smif / FOUP может быть сконфигурирован с использованием жидкости: доступен раствор для травления меди, раствор для травления титана, конфигурация обратного распыления
• Вспомогательные химические жидкие CCSS, LCSS
• Контроль нагрева, контроль концентрации, контроль расхода, контроль давления и т.д.
• Разделение отработанного воздуха на кислоту, щелочь и органическую жидкость
• Поддерживает рекуперацию химических жидкостей
• защиту от перегрева, обнаружение утечек, классификацию и слив
• полностью поддерживает протокол связи SECS / GEM