Прядильный ламинатор (серия SC)

Область применения: Упаковка панелей

Деформация пластины ≤ ± 7 мм
Технологический показатель: Равномерность скорости травления: на кристалле ≤5% скорость извлечения жидкости≥95%

Технические характеристики

• 1-4 полости (настраиваемые)
• 2-4 ПАРЫ (настраиваемый)
  Настраиваемая жидкость: циклопентанон, PGMEA, TMAH, NaCO3, DICO2, раствор для травления Ti, раствор для травления Cu, H2SO4 и т.д., Доступна конфигурация обратного распыления.
• Вспомогательные химические жидкие CCSS, LCSS
• Контроль нагрева, контроль концентрации, контроль расхода, контроль давления и т.д.
• Разделение отработанного воздуха на кислоту, щелочь и органическую жидкость
• Поддерживает рекуперацию химических жидкостей
• защиту от перегрева, обнаружение утечек, классификацию и слив
• полностью поддерживает протокол связи SECS / GEM