Проявитель для склеивания фронтенда

Модель оборудования: CD12-XC6C6D1A

Области применения: составные полупроводники, силовые устройства, МЭМС, ВЧ интегральные схемы, светодиоды

Технические характеристики

1. Многоуровневая конструкция большой емкости, небольшая занимаемая площадь
2. Оснащен многогнездной общей системой подачи клея с многоступенчатым всасыванием, что эффективно экономит количество фоторезиста.
3. Дополнительная высокоточная горячая плита, WEE, AOI и другие компоненты для удовлетворения потребностей более стандартных процессов.
4. Модульная конструкция основного блока, режим комбинирования является гибким и изменяемым, а также возможна максимальная настройка
5. Удовлетворение потребностей заводской автоматизации FA
6. Он может быть подключен к основным литографическим машинам.

Технические параметры