Система газового контура QL

Пластина газового тракта представляет собой решение для системы подачи газа, разработанное Qixing Flowmeter. Этот продукт основан на проектировании, обработке и тестировании принципиальной схемы газового тракта и состоит из мембранных клапанов, клапанов регулирования давления, датчиков давления и фильтров, MFC и другие компоненты, такие как регулирование давления, фильтрация чистоты и контроль потока различных технологических газов.

Технические параметры

• Обладает конструктивными возможностями сложных дисков воздушного контура на уровне микросхем.
• Конструктивные изменения и индивидуальное обслуживание газовых контурных панелей могут быть внесены в соответствии с потребностями заказчика.
• Обладая многолетним опытом в области исследований и разработок и производства MFC, мы можем использовать его при проектировании и производстве дисков для газовых контуров.
• Обладает высоким экономичным преимуществом.

Вакуумная емкость: 0,2Па~1x10⁻⁶Па.

Степень утечки (уплотнение видеомагнитофона): менее 1x10⁻1Pam3/с.

Отделка внутренней поверхности трубопровода: менее 0,2Ra.

Обработка внутренней поверхности трубопровода: обработка электронных документов.

Размер IGS: 1,125 дюйма.

Тип интерфейса: цельнометаллическое уплотнение.

Запечатанная форма: тип IGS-C или видеомагнитофон, держатель для карты памяти.

Степень детализации: в ходе 3 последовательных испытаний количество частиц размером менее 0,1 мкм составило ≤3.