Полностью автоматическая машина для очистки резервуаров серии GAMA 6/8 дюйма

Полностью автоматическая машина для очистки резервуаров серии GAMA 6/8 дюйма отвечает всем требованиям к мокрым процессам, включая RCA, PR Strip, растворитель, мокрое травление и другие применения. Она может использоваться для типичных технологических узлов 0,35 мкм и 0,18 мкм и может поддерживать 90 нм. технологические узлы Совместимы с 6-дюймовыми и 8-дюймовыми пластинами.

Технические характеристики

• Компактная конструкция и небольшие габариты.
• Модульная конструкция, гибкая конфигурация и возможность расширения.
• Продуманная конструкция технологического резервуара для обеспечения стабильности процесса.
• Точная система взвешивания химических веществ для достижения высокого качества технологических процессов.

Размер пластины: 6, 8 дюймов.

Применимые материалы: кремний, карбид кремния, нитрид галлия на основе кремния.

Применимый процесс: предварительная очистка, очистка от обезжиривания, удаление нитрида кремния, удаление металла (Co, Ti), повторная очистка, очистка после полировки, очистка перед Epi, очистка после Epi.

Применимая область применения: интегральные схемы, материалы подложек, составной полупроводник, силовой полупроводник.