Перемотчик пленки WS-PE100/150

Перемотчик пленки WS-PE100/150 содержит 6-осевой роботизированный узел. В передней части оборудования имеется 6 станций Loadport, каждые 3 соответствуют 1 камере. Имеется 2 буферные станции, каждая из которых может содержать 19 пластин, соответствующих 4-дюймовым пластинам, в 1 камере, и 2 станции охлаждения, соответствующие левой и правой камерам соответственно.

Технические характеристики

• Полностью автоматическая подача вафель.
• Искусственная замена, хороший контроль содержания частиц.
• Высокоточный, очень гибкий шестиосевой манипулятор, более стабильный и надежный.
• Бесконтактная присоска Бернулли полупроводникового качества, равномерная адсорбция, низкая скорость разрушения, более безопасная.
• Высокий коэффициент использования, эффективно снижающий затраты клиентов.

Размер пластины: 4, 6 дюйма.

Скорость скретча: ≤0.03%.

Время отклика на связь: <0,5 секунды.

Время отклика на погрузку и разгрузку: ≤12 секунд

Применимая область применения: полупроводниковое освещение.