NMC612D используется в 12-дюймовом процессе сухого травления, в основном для травления изоляции неглубоких канавок, травления затворов, травления боковых стенок и других процессов в области интегральных схем. Он обладает множеством методов отладки процессов, высокой однородностью травления и стабильностью массового производства.
Технические характеристики
- Технология импульсного управления плазмой уменьшает повреждения, вызванные плазмой.
- Точный контроль морфологии травления.
- Передовая технология обработки поверхности и распыления.
- Стабильная система передачи и оптимизированный технологический процесс
Размер пластины: 12 дюймов.
Применимые материалы: кремний.
Применимый процесс: травление изоляции неглубоких канавок, травление ворот, травление боковых стенок, двойная графическая экспозиция.
Применимая область применения: интегрированная цепь.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
12-дюймовая машина для травления кремния NMC 612D. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support