Высокотемпературная 5-осевая подставка для образцов MBE

Технические характеристики

Высокотемпературная 5-осевая подставка для образцов MBE обеспечивает поступательное движение образца в направлениях X, Y, Z и вращение вокруг оси Z с углом R1 (полярное вращение) и углом R3 (азимутальное вращение в плоскости). Перемещения по осям X, Y, Z и R1 выполняются вакуумным двигателем XYZ-R1, а вращение R3 — с помощью зубчатого механизма в голове держателя. Уникальная конструкция накала нити обеспечивает температуру подставки до 1200 K. Вся система управления образцом состоит из держателя, системы контроля температуры и вакуумного перемещателя XYZ-R1. Подставка и перемещатель изготовлены из немагнитных материалов, что позволяет использовать их в сверхвысоком вакууме.

Особенности:

• Максимальная температура держателя: 1200 K (лучистый нагрев), 1500 K (электронно-лучевой нагрев);
• Многоосевые движения: пять степеней свободы — X, Y, Z, R1, R3;
• Точная температурная стабилизация: PID-управление с точностью до ±0.1 K;
• Совместимость с различными функциональными модулями.

Технические параметры