Оборудование для нанесения покрытий вертикальным ионным напылением IBSV-1030

Технические характеристики

Характеристики:

• Вертикальное расположение подложки, горизонтальный контроль;
• Вращение мишени регулируется влево и вправо для обеспечения оптимального расстояния между центром мишени и источником ионов;
• Подложка: 12" x 1";
• Мишень: две или три сменные мишени;
• Многооптический контроль.
• Крепление заготовки: 12"

Параметры процесса:

 Вакуумная система

• Предельный вакуум: 4,0 × 10-5 Па
• Время откачки до 10 Па: ≤ 10 минут
• Скорость утечки: 3,0 × 10-5 Па м³/с

Точность управления

• Вращение мишени: 0,005°
• Вращение заготовки: <1000 об/мин
• Энкодер: 12 000 линий; 480 000 отсчётов/об
• Пластина коррекции толщины плёнки: 0,005°
• Затвор: позиционный переключатель

Оптическая система контроля (OMS)

• Диапазон длин волн: от 380 до 1650 нм
• Стабильность источника света: белый свет < 0,1%, лазер < 0,02%
• Разрешение по длине волны: белый свет 0,2 нм, лазер 0,1 нм
• Точность длины волны: белый свет 0,2 нм, лазер 0,1 нм.