Сушка Марангони (Marangoni Dryer)

Габаритные размеры

Д x Ш x В (мм) = 2130 x 1050 x 3050

Вес оборудования

700 кг

Особенности оборудования

1. ИПС и азот (N₂) фильтруются через высокочистые фильтры для обеспечения минимального количества частиц.
2. Использование азота (N₂) комнатной температуры для распыления ИПС снижает риск возгорания.
3. Короткое время сушки, низкий расход изопропилового спирта.
4. Контроль концентрации ИПС в реальном времени для предотвращения утечек.
5. Мониторинг сопротивления воды в реальном времени с сигнализацией для обеспечения качества промывки.
6. Отсутствие следов воды (водяных пятен) на пластинах.

Обрабатываемый объект

Пластины (Wafer)

Управление и связь

Управление через ПЛК (PLC). Поддержка различных протоколов связи: EtherCAT, TCP/IP, Modbus.

Безопасность

Оснащено системами: контроля концентрации ИПС, детектирования наличия пластины, детектирования положения сушильной камеры, блокировкой защитных дверцов, обнаружения утечек жидкости.

Надежность

Контроль высокочистых источников газа и жидкостей.

Область применения

Производство интегральных схем (ИС), МЭМС (MEMES), светодиодов (LED).

Модель

Стоимость, доллары США

Сушка Марангони (Marangoni Dryer)

По запросу