Поиск краев Logosol_milara

Технические характеристики

• Общий размер пластины: от 75 мм до 300 мм
• Материал пластины: прозрачный, полупрозрачный, непрозрачный-квадратная подложка: применимо
• Способ обработки пластин: вакуумная присоска и штифты
• Точность позиционирования по центру: ± 25 мкм на патроне предварительного выравнивания
• Точность угла позиционирования :
• -10000 Датчик CPR ±0,04 ° при 3 сигмах на патроне предварительного выравнивания
• -24000 Датчик CPR ±0,02 ° при 3 сигмах на патроне предварительного выравнивания
• Мобильная ось хоста: 3 оси-варианты управления: RS232, Ethernet, управление ПК
• Регулируемое смещение стружки: 12 мм-Плоская / насечка совместимость: Соответствует ПОЛУ стандарту
• Спецификация без пыли: Класс 1
• НАРАБОТКА на отказ: более 70 000 часов
• Применимо к завернутой пластине