Станок для влажных работ AquaChem-CA

Применение

Стенд для очистки RCA
Стенд для травления
Стенд для проявления
Стенд для обработки растворителем
Мокрое травление кремния
Формирование мембран и микроканалов
V-образная канавка

Образец продукта

Si, сапфир, стекло, керамика и т. д.

Размер подложки

От 4 до 8 дюймов

Вафельная ручка

Тип кассеты

Химическая ванна

ПТФЭ, кварц или SUS316L

Химический нагрев

Макс. 150 ℃

Звуковой

Ультразвуковой или мегазонный

QDR

Пузырь N2, подача DI, душ DI, перелив

Опция

Химическая циркуляция
Кассетная мешалка
LCSS (локальная система подачи химикатов)
Автоматический огнетушитель
Генератор DI
Мокрая скрубберная установка
Сушилка для пластин и кассет
Мокрая скрубберная установка.

Контроль

Управление ПК или ПЛК

Модель

Стоимость, доллары США

Станок для влажных работ AquaChem-CA

 По запросу