Технические параметры
|
Материалы для нанесения |
SiO2, Si3N4, поликремний, поликремний с n-легированием, поликремний с p-легированием |
|
Размер подложки |
Макс. 8 дюймов |
|
Выход продукта |
От 1 до 8 дюймов: 1 пластина/прогон, 3 пластины/прогон при 4 дюймах |
|
Нагреватель подложки |
> 400℃ |
|
Мощность плазмы |
2 кВт при 13,56 МГц |
|
Контроль давления |
Дроссельная заслонка с барометрическим манометром (F. S. 10 Torr) |
|
Предельное давление |
< 5,0E-3 Торр |
|
Вакуумный насос |
Сухой насос |
|
Контроль |
Управление с ПК (программное обеспечение UPRO) |
|
Опция |
ТМП |
|
Размеры (Ш*Д*В) |
1006 мм x 875 мм x 1145 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Устройство нанесения покрытий и синтеза материалов COSMOS -150 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support