Стеллаж

Технические характеристики

Чистый складской стеллаж является ключевым компонентом AMHS (Автоматизированной системы транспортировки материалов), предназначенным для предоставления высокоэффективных решений по хранению и управлению материалами в полупроводниковом производстве. Благодаря интеграции специализированных штабелёров, модулей хранения материалов, а также автоматических и ручных входных/выходных портов для материалов, он способен хранить контейнеры для пластин (такие как FOUP и FOSB) в условиях высокой чистоты, а также служить буферной зоной для балансировки разницы в производительности между оборудованием и технологическими процессами, обеспечивая бесперебойную работу производственной линии.

Данная система не только обладает высокой вместимостью, позволяя оптимально использовать пространство производственной линии и увеличить эффективную площадь чистого помещения, но и поддерживает высокочастотный ввод и вывод материалов для соответствия требованиям автоматической транспортировки. Уровень чистоты чистого складского стеллажа обычно достигает класса 1000, а максимальный показатель может достигать класса10, что гарантирует соответствие требованиям к окружающей среде в процессе производства полупроводников. Благодаря бесшовной интеграции с оборудованием для транспортировки материалов, чистый складской стеллаж способен формировать единую логистическую систему, повышая общую эффективность производства и качество продукции.

Условия и технические характеристики

• Габариты оборудования: 6660 × 1453 × 4200 мм (Д × Ш × В);
• Тип контейнеров: FOUP, FOSB;
• Вместимость: 170 шт.;
• Скорость перемещения по осям: Ось X, Ось Z, Захват;
• Точность позиционирования: ±0.5 мм;
• Вибрация: ≤ 0.5G;
• Общая производительность транспортировки: >150 циклов за 20 сек;
• Уровень шума: ≤ 70 дБ;
• Класс чистоты:1000.