Технические характеристики
Калибратор обеспечивает высокоскоростное и высокоточное позиционирование подложек (полупроводниковые соединения, кремниевые пластины и др.) методом краевого зажима в вакуумной среде.
Грузоподъемность: 4 кг
Компактная конструкция с интегрированными датчиками для вакуумной среды, отличающаяся высокой степенью интеграции и простотой монтажа (требуется отдельная установка стандартного контроллера JEL в атмосферных условиях)
Вакуумное уплотнение: магнитожидкостные уплотнительные устройства и сильфоны
Оснащен монитором перемещений
Интерфейс управления и связи: RS232C и параллельный ввод/вывод (I/O)
Функция автоматического позиционирования генерирует данные о местоположении всех пластин в соответствии с расположением пластин на подложке.
Среда применения: Вакуум в атмосферных условиях чистого помещения
Размер пластины: От 100 мм до 300 мм, другие размеры
Транспортируемые объекты: Кремниевые пластины, совместимые с посадочными основаниями
Данное оборудование представляет собой вакуумный калибратор для точного позиционирования и центровки кремниевых пластин различных размеров в условиях чистых помещений.
Технические параметры
|
Транспортируемые объекты |
Кремниевые пластины по стандарту SEMI 100-300 мм, совместимые с посадочными основаниями |
|
Время позиционирования |
Определение ориентации пластины: ≤4 сек (без повторного захвата) |
|
Точность позиционирования |
Центр пластины: ±0.3 мм |
|
Датчики |
Вакуумные отражательные датчики ограничения расстояния |
|
Вакуумная стойкость |
1.33×10⁻⁶ Па |
|
Привод |
2-фазные шаговые двигатели (3 оси), внешний контроллер (не встроенный) |
|
Требования к подключению |
Питание: DC24V±10%, 8A |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SVAL3001 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support