Технические характеристики
4-осевой цилиндрический робот-манипулятор для чистых помещений, соответствующий требованиям сверхчистых производственных зон. Сохраняя высокое соотношение цена/производительность и характеристики высокой скорости передачи, решена проблема пропуска шагов, характерная для шаговых двигателей. Новая двухручная система предназначена для работы с истонченными кремниевыми пластинами и использует метод вакуумного захвата за периферийные области пластин.
Применена система управления, исключающая явление пропуска шагов в шаговых двигателях.
Высокопрочная конструкция руки - третий сустав выдерживает нагрузку до 3 кг (включая массу модуля запястья и пластины).
Возможность выбора между креплением через основание или фланец в зависимости от требований оборудования.
Эксплуатационная среда: Атмосферные условия чистого помещения
Конфигурация манипулятора: Двухручная система
Радиус действия: 475 мм (отсчет от центра третьего сустава манипулятора)
Максимальный ход вертикальной оси: 200 мм / 300 мм / 400 мм / 450 мм / 500 мм
Грузоподъемность: 3 кг (отсчет от третьего сустава манипулятора)
Перечень моделей продукции:
Модель STCR4160SN-200-PM: максимальный ход вертикальной оси 200 мм
Модель STCR4160SN-300-PM: максимальный ход вертикальной оси 300 мм
Модель STCR4160SN-400-PM: максимальный ход вертикальной оси 400 мм
Модель STCR4160SN-450-PM: максимальный ход вертикальной оси 450 мм
Модель STCR4160SN-500-PM: максимальный ход вертикальной оси 500 мм
Данная серия оборудования представляет собой модификацию с вакуумным захватом, специально разработанную для работы с истонченными кремниевыми пластинами. Особенностью является возможность захвата за периферийные области пластин, что обеспечивает бережное обращение с тонкими и хрупкими материалами.
Технические параметры
|
Модель манипулятора |
STCR4160SN-300-PM |
|
Модуль запястья |
SART09362 |
|
Захватное устройство |
Верхний захват: 3D-09371 |
|
Транспортируемый объект |
Кремниевые пластины до 300 мм |
|
Способ фиксации пластины |
Верхний захват: Вакуумный захват за периферийную область пластины |
|
Кинематическая схема |
Цилиндрические координаты |
|
Количество осей управления |
4 |
|
Тип двигателя |
Двухфазные шаговые двигатели на всех осях |
|
Радиус действия (от центра) |
625 мм |
|
Угол поворота (ось θ) |
340° |
|
Ход по вертикали (ось Z) |
300 мм |
|
Скорость переноса (средняя) |
Ось R: 400 мм/сек |
|
Скорость переноса (максимальная) |
Ось R: 800 мм/сек |
|
Повторяемость |
±0,1 мм |
|
Класс чистоты |
ISO Класс 2 (при условии отвода выхлопа от привода) |
|
Требования к подключению |
Питание: DC24V±10%, 16A |
|
Масса манипулятора |
≈30 кг |
|
Спецификации контроллера |
|
|
Модель контроллера |
C4000 |
|
Интерфейс связи |
Последовательный RS232C или параллельный оптический I/O |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
STCR4160SN |
По запросу |
JoomShopping Download & Support