Технические характеристики
Обеспечивает безопасную и точную транспортировку тонких пластин из кассет для хранения.
Автоматическая безповрежденная транспортировка пластин между кассетами для хранения и стандартными кассетами
Опциональная установка бернуллиевских захватов для утоньшенных пластин
Автоматическое распознавание пластин и прокладочной бумаги (межслойная бумага) в кассетах для хранения
Автоматическое определение высоты пластин
Возможность удовлетворения потребностей клиентов в транспортировке нескольких кассет и пластин различных размеров
Оснащение автоматическим механизмом открытия крышки кассет для хранения
Совместимость с кассетами для хранения производства Achilles Corporation
Оснащение высокоэффективным фильтрующим устройством (соответствует стандарту HEPA), обеспечивающим чистоту внутри оборудования
Оснащение цветовым оптическим датчиком для распознавания прокладок различного цвета (межпластинная бумага)
Среда использования: Атмосфера чистого помещения
Поддерживаемые типы кассет: 300 мм кассеты для хранения, 300 мм стандартные кассеты
Размер пластины: 300 мм
Перемещаемые объекты: Кремниевые пластины, межпластинные прокладки
Наша компания может предоставить индивидуальное проектирование в соответствии с требованиями заказчика к размеру пластин, количеству кассет для хранения, количеству стандартных кассет, необходимости в калибраторе и другим параметрам.
Система совместима с кассетами для хранения различных производителей. Для получения дополнительной информации обращайтесь в нашу компанию.
Технические параметры
|
Индивидуальная конфигурация |
Возможность定制ного проектирования согласно требованиям заказчика: размер пластин, количество кассет для хранения, количество стандартных кассет, необходимость в калибраторе |
|
Перемещаемые объекты |
300 мм кремниевые пластины, межпластинные прокладки в 300 мм кассетах для хранения |
|
Поддерживаемые типы кассет |
300 мм кассеты для хранения, 300 мм стандартные кассеты |
|
Класс чистоты |
Оснащение высокоэффективным фильтрующим устройством (HEPA), обеспечивающим чистоту внутри оборудования |
|
Габаритные размеры |
1350 (Ш) × 1434 (Г) × 1900 (В) мм |
|
Питание |
AC200V±10% |
|
Чистый сжатый воздух |
0,5 МПа, ≥250 NL/min |
|
Вакуум |
≥-70 кПа |
|
Масса оборудования |
450 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
SSY-20010 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support