|
Модель |
GCR4210 |
|
Рабочая среда |
Атмосфера чистого помещения |
|
Конфигурация манипулятора |
Однорычажная конструкция |
|
Радиус действия |
400 мм (до центра сустава 3-го звена манипулятора) |
|
Макс. ход по вертикальной оси |
300 мм / 320 мм / 500 мм |
|
Грузоподъемность |
4 кг (в составе 3-го звена манипулятора) |
Многоосевой манипулятор для сверхчистых помещений, 4-осевой шарнирно-сочлененный робот чистого помещения серии GCR4000-AM.
Предназначен для транспортировки кремниевых пластин в производственном оборудовании и контрольно-измерительных установках для пластин диаметром 300 мм.
- Стандартная длина манипулятора:210 мм, 280 мм
- Один манипулятор может обслуживать два FOUP(стандартные контейнеры для пластин)
- Варианты монтажа:возможность выбора между фиксацией на основании или фланцевом креплении в соответствии с требованиями оборудования
- Оснащенмонитором контроля движения
- Способ управления и связи:интерфейс RS232C и параллельный I/O-интерфейс
- Управление ускорением/замедлением по S-образной кривойобеспечивает высокоскоростную и высокоточную транспортировку стеклянных подложек
- Применение серводвигателей переменного токаи оптимизация траектории движения обеспечивают высокоскоростное выполнение операций перемещения
- В 1,8 раза выше скорость работыпо сравнению с моделями серии GHR4000
- Способы фиксации пластин:вакуумное всасывание, нижняя поддержка, зажим кромки, бесконтактный метод по принципу Бернулли
- Материал захвата:CFRP (углепластик), алюминиевый сплав, высокочистая керамика и другие доступные варианты
- Возможность подбораоптимального захвата в соответствии с типом перемещаемых объектов и компоновкой оборудования
Технические параметры
|
Модель робота-манипулятора |
GCR4210-300-AM |
|
|
Перемещаемый объект |
Кремниевые пластины до 300 мм |
|
|
Способ фиксации пластины |
Вакуумное присасывание |
|
|
Кинематическая схема |
Горизонтальная шарнирно-сочлененная |
|
|
Количество осей управления |
4 |
|
|
Рабочий диапазон |
|
|
|
Ось |
Диапазон |
|
|
Доступ до центра объекта (R) |
760 мм |
|
|
Угол поворота (θ) |
335° |
|
|
Вертикальное перемещение (Z) |
300 |
|
|
Скорость перемещения |
|
|
|
Ось |
Скорость |
|
|
R |
635 мм/0,8 сек |
|
|
θ |
335°/1,0 сек |
|
|
Z |
300 мм/0,9 сек |
|
|
Точность и условия эксплуатации |
|
|
|
Повторяемость |
±0,1 мм |
|
|
Класс чистоты |
ISO Class 2 (при отдельной вытяжке из приводных механизмов) |
|
|
Питание |
Однофазный AC200V±10%, 2 кВА |
|
|
Вакуум |
Лучше -53 кПа (с вакуумными захватами) |
|
|
Масса манипулятора |
≈37 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ETCU-005W |
По запросу |
JoomShopping Download & Support