Монолитное очистное оборудование Ultra C SAPS II

Используются для фронтальной и обратной очистки пластин, а устройства с ультразвуком обеспечивают высокое качество очистки в сочетании с другими устройствами. Это оборудование может быть широко использовано в области производства крупных кремниевых пластин.

Технические характеристики

• Независимый контроль расхода моющей жидкости, отсутствие перекрестного загрязнения;
• Точная система управления расходом жидкости из форсунки;
• Более низкая стоимость использования;
• Превосходный очищающий эффект;
• Могут применяться различные процессы очистки пластин: заключительная очистка, очистка перед наращиванием и очистка после CMP;
• Высокая производственная мощность;
• Способность контролировать мелкие частицы и контроль металла, добавленная стоимость частиц размером 19 нм-30 и загрязнение металлами-5E7 атм/см².